[TRIZ] 40가지 발명 원리 38. Oxydent(산화제)

세부 원리

A. 한 수준의 산화로부터 더 높은 수준의 산화로 바꿔간다. B. 일반공기는 산소로, 산소는 오존으로 바뀌어 간다.

  산소나 적당한 물질, 주변 환경을 이용하여 반응을 가속, 완결시키는 원리이다. 산화력이 강한 오존을 살균, 소독, 표백 등에 사용한다. 열대어용 수조에 펌프로 공기를 보내 수중의 산소 농도를 높인다. 

 

	실리콘 웨이퍼 표면위의 금속이온들을 깨끗이 제거하는 것이 쉽지 않다. 특히 구리(Cu)이온으로 오염된 경우 실리콘과 구리이온이 강한 결합을 이루기에 구리이온을 제거하는 것이 가장 어렵다.   플루오르화수소(hydrofluoric, HF) 분위기에서 오존을 불어 주는 해결책이 있다. 오존은 구리 이온과 반응하여 구리이온을 산화구리(CuO)화합물을 만들고 플루오화수소 분위기에서 산화구리 화합물은 플로오르구리(CuF₂) 침전물로 변하여 물에 의해 쉽게 씻겨져 제거할 수 있다.
	실리콘 웨이퍼를 산화시키는 공정이다. 공정에 사용되는 에너지 소비를 줄이기 위하여 산화 공정에 사용되는 공기를 일반 산소(O₂) 대신에 오존(O₃)을 사용한다.  오존을 첨가하여 사용하면 산화과정이 더욱 가속화 된다. 결과적으로 산화과정에 필요한 분위기 온도도 낮아지고 산화과정시간도 단축되므로 공정에 사용되는 에너지를 절약할 수 있다.
	에칭공정 후 유기용제에 실리콘 웨이퍼가 담겨져 보호막(PR)등을 씻어 낸다. 하지만 특별한 경우에 실리콘 웨이퍼 위의 유기 물질이 완전히 제거되지 못한다. 이러한 경우 산소를 공급하면서 자외선을 조사하는 방법이 있다. 산소는 자외선을 조사받아 오존으로 변하고, 오염원인 유기 물질은 오존과 만나 휘발성 산화물로 변하여 제거된다.

도서 : "생각의 창의성" , 김효준 지음 인용.