[TRIZ] 40가지 발명 원리 8. Counterweight(공중부양)

세부 원리

A. 부력이 제공되는 다른 물체와 연결하여 무게를 상쇄시킨다. B. 공기역학적 힘이나 유체 역학적 힘으로 물체의 무게를 상쇄시킨다.

  지구에 존재하는 모든 물체는 언제나 지구 중력의 영향을 받아 무게를 느낀다. 무거운 물체는 밑으로 처지게 된다. 이러한 일반적인 환경 때문에 지구 중력의 영향은 어쩔 수 없고 당연하게 생각하지만, 적극적으로 생각해 보면 중력의 영향을 줄일 수 있는 다양한 방법들이 있다.

 

	사소한 오염물질이라도 웨이퍼의 특성을 변화시킬 수 있기 때문에 항상 클린룸에서 공정을 진행하게 된다. 특히 웨이퍼가 놓여지는 바닥과 접촉으로부터의 미세한 오염은 방지하기가 어렵다. 그림과 같이 스피커를 설치하고 웨이퍼의 원자구조에 영향을 주지 않는 저주파의 음파를 발생시켜 공중부양을 일으킨다.
	철광석을 캐는 탄광에서 원석(Ore)을 그림과 같이 컨베이어 벨트에 실어서 가까운 거리를 운송하고 있다. 원석은 매우 무겁기 때문에 컨베이어 벨트가 밑으로 쳐지는 문제가 발생한다. 컨베이어 벨트를 단단히 조이거나 좀 더 단단한 재질의 물질로 컨베이어 벨트를 만들어도 원석의 무게를 감당하지 못하였다. 그림과 같이 벨트를 떠받치는 지지대를 설치하고 지지대는 물위에 떠있게 한다.
	반도체 제작공정 중 웨이퍼 표면을 특징 물질로 도포(Coating)하는 과정이다. 첫번째 웨이퍼와 중간 그리고 마지막 웨이퍼마다 도포된 두께가 다르다. 또한 같은 웨이퍼라도 상단과 하단의 도포된 두께가 다른 문제가 있다. 도포되는 공간 속에 질소와 같은 불활성가스를 불어 넣어 도포될 물질이 중력의 영향을 받지 않고 자유롭게 움직이게 되어 모든 웨이퍼에 균일한 두께의 도포가 가능해졌다.

도서 : "생각의 창의성" , 김효준 지음 인용.