세부 원리 A. 부력이 제공되는 다른 물체와 연결하여 무게를 상쇄시킨다. B. 공기역학적 힘이나 유체 역학적 힘으로 물체의 무게를 상쇄시킨다. 지구에 존재하는 모든 물체는 언제나 지구 중력의 영향을 받아 무게를 느낀다. 무거운 물체는 밑으로 처지게 된다. 이러한 일반적인 환경 때문에 지구 중력의 영향은 어쩔 수 없고 당연하게 생각하지만, 적극적으로 생각해 보면 중력의 영향을 줄일 수 있는 다양한 방법들이 있다. 사소한 오염물질이라도 웨이퍼의 특성을 변화시킬 수 있기 때문에 항상 클린룸에서 공정을 진행하게 된다. 특히 웨이퍼가 놓여지는 바닥과 접촉으로부터의 미세한 오염은 방지하기가 어렵다. 그림과 같이 스피커를 설치하고 웨이퍼의 원자구조에 영향을 주지 않는 저주파의 음파를 발생시켜 공중부양을 일으킨다. 철..
