세부 원리 A. 한 수준의 산화로부터 더 높은 수준의 산화로 바꿔간다. B. 일반공기는 산소로, 산소는 오존으로 바뀌어 간다. 산소나 적당한 물질, 주변 환경을 이용하여 반응을 가속, 완결시키는 원리이다. 산화력이 강한 오존을 살균, 소독, 표백 등에 사용한다. 열대어용 수조에 펌프로 공기를 보내 수중의 산소 농도를 높인다. 실리콘 웨이퍼 표면위의 금속이온들을 깨끗이 제거하는 것이 쉽지 않다. 특히 구리(Cu)이온으로 오염된 경우 실리콘과 구리이온이 강한 결합을 이루기에 구리이온을 제거하는 것이 가장 어렵다. 플루오르화수소(hydrofluoric, HF) 분위기에서 오존을 불어 주는 해결책이 있다. 오존은 구리 이온과 반응하여 구리이온을 산화구리(CuO)화합물을 만들고 플루오화수소 분위기에서 산화구리 화..
